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旋片真空機組是以泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯而成的。旋片真空機組選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且同時保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優點。因為該機組的結構緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺機械真空泵,因此旋片泵機組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設備的預抽、電真空半導體等行業中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆炸性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學反應的也不會含有顆粒塵埃的氣體。
而立式無油往復泵機組以ZJ泵為主泵，以WLW型方式無油泵為前級泵串聯而成，由于WLW型真空泵采用無油自潤滑系統，這樣可以獲得潔凈真空，這樣在加裝尾氣收集裝置后，可以收集在高真空系統中無法凝固、無法壓縮收集的氣體，而又同時避免了水環機組所產生的大量廢水的排放而導致污染環境的問題。
水環真空機組以羅茨泵為主泵，以水環泵為前級泵串聯而成的。水環真空機組選用的水環泵成為前級泵比其它的真空泵更為有利，因為它不但克服了單臺水環泵使用時極限壓力差（機組的極限壓力比水環泵的極限壓力有很大的提高），在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且與此同時又保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率的優點。它能夠適應抽除大量的可凝性蒸汽，尤其是當氣鎮油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化進而影響性能，或者是真空系統不允許油污染時更為明顯。如果配有防爆電機及電器時并遵守相應的安全規則下，還能夠抽除易燃易爆的氣體。
